合肥普旭真空泵油VM32供应商好货源好价格 东莞东欧真空设备

真空泵冷却水流不够。应加大冷却水流量。

装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损。应拆开检查并重新装配。

因加工不良或磨损造成配合间隙过大。应检查真空泵腔、转子、旋片、端盖板之间的配合间隙，投规定的精度要求进行修复或更换。

真空泵运转中摩擦发热，温升太高，使真空泵油变稀，密封性变差。应通冷却水或用电风扇降温，同时，检查有关部件配合间隙并按规定精度要求进行修理或更换。

真空泵油的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4)在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶液造成污染，适合用干式真空泵；

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

六、给真空泵加油的时候一定是的设备，不能是其他真空泵油用过的容器或者溶剂。七、酯油和矿物油或者其他合成油在互换时，要把真空泵拆开然后洗干净。八、要是吸入化学气体及溶剂，对真空泵油污染影响真空后，就一定要清洗换油。

1、活塞式真空泵(W型)运用普通的机油即可，用V100、V150粘度等级的油品。

2、旋片式真空泵(2X型)选用V68、V100粘度等级油品。