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超声波清洗的原理是利用它所造成介质的“空隙现象”，即超声波的振动引起清洗介质疏密变化而达到清洗目的。比如机械应力作用下导致裂解，氧化变性，化学反应变性，水汽或可凝性气体融入导致水解乳化，化学物质的溶入导致性质变化，灰尘沉积导致粘度增大等。振动使介质时而稀疏，时而闭合，稀疏时形成瞬时的空隙；闭合时产生瞬时冲击力可达到几个大气压，这个强大的冲击能破坏物体表面的油膜，使之和污染物一起脱离物体表面被冲落到溶液中。

超声波清洗可以去掉零件上孔内部的污染物，这是一般清洗方法所无法实现的，超声波清洗的溶液可以用水和其它溶剂，若用三录乙烯会有更好的去油效果，常用工作频率为4～10MHz。

选用代用泵油时还应注意考虑设备的环境与工作温度。用户***hao勤换油、定期做好小保养，有利于真空泵使用寿命的延长。对工作温度变化大的机械设备，代用油的粘温性要好一些；对于低温工作的机械，选择代用油的凝点要低于工作温度10℃以下；而对于高温工作的机械，则要考虑代用油的闪点要高一些，氧化安定性也要满足使用要求。选用代用泵油时还应注意考虑设备的环境与工作温度。对工作温度变化大的机械设备，代用油的粘温性要好一些；对于低温工作的机械，选择代用油的凝点要低于工作温度10℃以下；而对于高温工作的机械，则要考虑代用油的闪点要高一些，氧化安定性也要满足使用要求。

真 空泵油失效对真空泵的影响真空泵油失效主要有两种形式，一种是真空泵乳化另一种是真空泵油碳化。这样一来建筑施工的人员也就不用在担心可以放心的进行工作，不会在因为工作的原因而影响周围的空气质量。真空泵乳化是因为真空泵油在高温以及所抽气体中的化学成分 发生的一种反应，具体表现形式就是产生粘稠状的物质，这种物质与真空泵叶片粘合在一起致使叶片不能迅速的做来回甩出运动，从而影响泵浦的真空度。

真空泵碳化主要是真空泵油不耐高温，产生颗粒状物质，长期运转会导致缸体及叶片磨损从而导致真空度下降。